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UV200 8寸UV黏胶消除机

名称: UV200 8寸UV黏胶消除机
说明:  

         UV200手动UV胶膜黏度去除机为半导体专用设备,具有人性化设计、容易操作且工作稳定等特点。适用于半导体制程中使用高黏度UV胶膜后的UV黏度去除工序。内置7组可以任由使用者进行自主编辑并存储后任意选择的操作程序,具有断电程序保存功能;可以独立操作的开机预热程序,使用更加方便快捷。可以用于处理直径为6/8英寸(或者以下规格,需为客户特殊设计) 标准晶圆框架的各种品牌、规格的UV胶膜黏度消除。大屏幕触摸显示屏。准确的UV灯管寿命指示与累计,到时停机报警;独立的单根灯管使用时间统计,避免因某一UV灯管异常而必须全部更换,节约成本。紧凑的桌上型设计、抽屉式操作方式,有效地隔离UV辐射,操作更简便、适用更安全。具有传统手动UV膜黏度去除机构无法相比的高效率、高安全性等优点。
        内设6组高效低压、无臭氧原装PHILIPS 低压无臭氧UV灯管,安全、稳定、环保;均匀产生高密度的365nm UVA波,能够有效的应用于短时间需要处理大量晶圆的场合。例如专心集中处理大量晶圆,尤其是每一CASSETTE 25片的情况。
        该设备操作简便,操作者只需要简单的放置/拿取工作物,然后点按操作键盘上对应按键即可,工作完成后蜂鸣器报警以示工作结束。独立的程序控制系统方便操作,大屏幕液晶LCD 显示屏,显示清晰;能够有效并准确的控制、显示作业时间(秒或者分钟)。同时能够累计UV灯组总的有效工作时间以及单根UV灯管独立的累计工作时间。具有异常开门保护功能。设备主体采用静电喷涂工艺,具有大方的外观、坚实的结构。

特点
●晶圆/框架尺寸可应用到6/8或者8/12英寸能力(或依客户需求专门设计);
●内置三菱PLC断电储存记忆功能体,使用者可自由设定并读取多组控制程序 (最多可以达到7组) 以及对应开机预热专用程序,操作便捷;适用各种品牌、规格UV胶膜;
●接收所有标准边框;
●独立的大屏幕触摸屏显示与控制;操作简便,易学;
●异常报警鸣笛与显示,使用者可及时地核查并消除异常的出现;
●高效、稳定的原装进口低压UV灯管,工作寿命长,波长稳定,无臭氧产生;
●桌上型设计,结构紧凑,处理速度便捷;
●平铺、抽拉式UV灯布置,密封严密、便于维护。

规格
●外形:长570cm×宽500cm×高370cm
●重量:40kg
●UV波长:365nm
●计时器:最大量程9999H,精度:1秒
●电源:单相220V AC 50/60Hz 

●功率:300W